課程概述：介紹電漿相關之物理與化學原理, 以及電漿在工程上之應用。

課程目標：
1. 熟悉基本之電漿物理與電漿化學。
2. 瞭解不同電漿種類之重要特性及可行之檢測方式。
3. 認識電漿在工程上之應用。
4. 對電漿相關之研究有一概括性之認識。

授課方式: 講授課程, 輔以投影片與影片, 最後二週由同學進行期末報告。

課程用書:
1. M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, “Principles of Plasma Discharge and Materials Processing”, John Wiley & Sons, Inc. 2005.
2. R. Hippler, H. Kersten, M. Schmidt, and K. H. Schoenbach, “Low Temperature Plasmas – Fundamentals, Technologies, and Techniques”, Wiley-VC, H2008.

課程大綱:
1. 緒論
2. 氣體動力與粒子碰撞
3. 電漿化學
4. 不同電源型式之電漿種類
5. 低壓與常壓電漿
6. 水溶液電漿與微電漿
7. 電漿檢測
8. 電漿在半導體製程上之應用
9. 電漿在材料上之應用
10. 電漿在生醫上之應用